Inficon高精度薄膜电容规（CDG）

INFICON 陶瓷电容式膜片真空计 (CDG)  专为要求极其严格和准确度要求极高 (0.15%)的真空行业设计。防腐蚀超纯氧化铝材料传感器，可确保该真空计优越的性能、长期的稳定性、高准确度和多年免维护。精准真空测量范围从 0.1 毫乇到 2 巴。

其测量原理是通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度。

INFICON 提供规格齐全电容式膜片真空计（CDG），从价格便宜的Porter状态真空计到世界上最快的测量时间不到1毫秒Stripe电容式膜片真空计（CDG）、200℃过程控制规管压力表或具有优良稳定性的比对真空计校准仪。丰富可选的法兰和通讯接口的大量选用（如以太网接口）使这些仪表成为既简单又实惠的最佳结合。

具体型号有：

Porter CDG020D；CDG025D；CDG045D。

加热型CDG100D；加热型CDG160D；加热型CDG200D。

高速加热型StripeCDG45Dhs；高速加热型StripeCDG45Dhs。

设计紧凑的加热式Edge CDG045D2; 

设计紧凑的加热式Edge CDG100D2。

典型应用

· 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备

· 数据存储和显示制造设备

· 工业真空设备

· 常规高精度压力测量

· 真空镀膜

· 真空监控

· 食品与包装

· 真空炉，拉晶器

· 化学真空过程

深圳市科锐诗汀，集真空计、捡漏仪、真空腔体、真空阀门、真空泵、真空管道于一体的真空系统服务商，竭诚为真空行业提供高质量的产品和服务！

作者：深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心
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备注：以上文章内容为inficon相关文章的节选