真空镀膜设备的运维以及如何延长设备的使用寿命

1、 分子泵的安装方式：

a、 避免分子泵与所连接设备直接产生应力；

b、 分子泵的可维护性和方便保养；

c、 分子泵的排气口要朝下，防止冷凝物堵塞；

d、 分子泵的排气口不要正对前级泵的进气口；

e、 分子泵和前级泵之间根据工艺气体而安装合适的过滤器；

f、 在前级旋片泵的出口安装冷凝回油装置；

g、 分子泵运行时，一定要开启分子泵的冷却水，分子泵停止时关闭

2、 分子泵的启动方式：

a、 分子泵的预热；

b、 分子泵的冷却；

c、 真空腔体、真空管道的捡漏；

d、 腔体水回路的捡漏，这点容易忽略。

3、 上料的注意事项：

a、上料时使用的辅助工具，如手推车等，不要撞击腔体和分子泵，这样会造成分子泵轴承和转子崩溃，泵就报废了；

b、上料结束后，腔体门关闭要轻柔。

4、抽空和工艺流程：

a、一台镀膜设备的工艺流程，都是由设备的主控电脑来进行控制的，前级泵、罗茨泵和干泵等的开启和关闭，分子泵的运行，它们之间的逻辑互锁；

b、异常停机后的恢复，工艺流程的优化等，都是由设备的电脑的程序来进行有序控制的；

c、对于油泵，建议把气镇功能始终打开，避免气体中的水以及易凝结的气体进入泵的润滑油里面，同时也可以减少所需工艺的抽气时间；

d、旋片泵的泵油非常重要，一定要选择推荐的合适的泵油。通过视窗可以观察油位、颜色和粘度，需要定期更换泵油；

e、正确选择泵油过滤器，可以增加泵油的使用寿命、减少泵的磨损、延长泵的使用寿命；

f、磁耦合连接轴方式，其密封性非常好、低磨损、无动态密封的密封圈、工艺的安全性更高，适合于防爆的应用场景；

5、 下料的注意事项：a、不要匆忙下料，在分子泵完全停止后再开启腔门。注意镀层的剥落，带好护目镜。

6、 设备的保养事项：a、要使用合适的清洁布和溶剂；b、不要使用刀片，以免刮伤密封件和密封面；c、腔体内部主要有残余的镀层和粉尘；e、真空管路的粉尘清洁；f、滤芯的清洁和更换，粉尘不要掉入泵油里面；g、清洁人员个人穿戴防护用品。

7、 检修事项：a、泵及管路的检修，同时要注意真空计的零位核准，当真空计的零位有漂移时，会严重影响抽空的时间；b、推荐用一把螺丝刀，刀尖靠着泵体，刀把靠近耳朵，可以听出泵的轴承运行的噪音是否正常。c、突然断电，对于磁悬浮分子泵，其安全轴承的寿命只有5次，超过了要马上更换安全轴承

8、在真空镀膜生产设备设计之初，开发者总是需要思考如何在商业成本和技术的需要之间寻找一个平衡点。如果真空技术在设计之初没有被充分考虑进去的话，那么在后期的开发中将会出现一些问题。导致对现有系统的后续纠正措施无法落地，并且会带来计划外的成本。我们的专家将为您提供在镀膜机中正确集成真空设备切实可行的办法。

编辑：深圳市科锐诗汀科技有限公司真空技术中心
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