干泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺。在这些工艺中，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

近年来，干泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干泵。国内的许多单位也一直在进行干泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。