2019年9月4-7日深圳会展中心 9G12展位英福康 INFICON特别邀请您参观CIOE中国光博会领略创新真空技术在镀膜行业中的应用
在光学行业,真空镀膜应用广泛,更精确的测量和精密的控制也已成了必需的要求。已在真空镀膜领域潜心钻研多年的英福康,不断投资最新的技术和功能,不仅是薄膜控制器的市场领头羊,还可为真空镀膜行业提供包括气体分析仪器、真空计、真空元件和氦气检漏仪等在内的完整产品系列和解决方案。
在本次光博会上,英福康也将携IC6 薄膜沉积控制器、Transpector® MPH 残余气体分析仪、LINXON®LX218 氦气和氢气检漏仪、真空计等一系列高精度,高性能的真空仪器设备,为参展观众们带来一场精彩的技术盛宴。
IC6 薄膜沉积控制器
IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上,增添了更多独特的功能,可帮助您实现沉积过程的最大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统,提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量,速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s,是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能,赋予您的过程卓越的可重复性。
Transpector® CPM 3 紧凑型过程监控器
十多年来,INFICON Transpector® CPM 一直是半导体行业市场领先的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在,Transpector® CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件,达到业内领先的测量速度和灵敏度。Transpector® CPM 3 是新型和现有半导体过程(例如,ALD、CVD、PVD 和蚀刻)的理想 RGA 过程监控器。
2019年9月4-7日
深圳会展中心 9G12展位
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