MKS AS11880G-12产品介绍

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•  品牌：MKS（半导体真空、工艺控制领域）

• 系列：AIO VIVO 模拟量 IO 模块

• 料号：AS11880G-12，版本 REV 01

• 类型：8 通道电压型模拟量输入模块

• 安装方式：DIN 导轨卡扣式安装，带网口、欧式插拔端子

核心技术参数

1. 通道配置：8 路单端模拟电压输入

2. 输入信号范围：0~10VDC 标准工业电压信号

3. 通讯接口：以太网网口，用于接入 MKS VIVO 控制系统，采集 MFC 质量流量控制器、真空计、压力传感器等设备模拟信号

4. 供电：直流工业标准供电，适配半导体设备控制柜

5. 应用场景：半导体刻蚀、薄膜沉积、光伏镀膜、真空制程设备，采集气体流量、腔体压力、温度等模拟数据

主要用途

专门配套 MKS 系列 MFC 质量流量控制器，采集流量反馈电压信号，实现多路工艺参数集中采集、闭环工艺控制，是真空半导体设备常用的 IO 扩展采集模块。