L-motion低粉尘传输阀 | 真空阀门的洁净度如何再进化？

半导体工艺正在逼近物理极限。2nm、1nm制程的推进，不仅考验光刻精度，更对设备洁净度提出了前所未有的要求。在真空系统中，阀门是运动件，也是Particle产生的主要来源之一。如何在阀门开闭过程中将颗粒产生降至最低，成为先进制程设备设计必须回答的问题。

L-MOTION（50×336）矩形传输阀主要应用于半导体制造中的真空传输系统与工艺腔室之间的隔离，适用于晶圆传输与工艺腔隔离。

L-MOTION是一种区别于传统摆杆机构的新型阀门运动技术，其核心逻辑是用运动轨迹的正交封合，换取密封过程中的“零摩擦”。具体来说，阀板的运动拆解为两个独立方向：先垂直移动至关闭位置，再水平压紧至阀座。

整个过程阀板与阀体无滑动摩擦，O型圈与密封面之间只有垂直压缩接触，没有切向磨耗。这一设计从根本上规避了摩擦产尘问题，同时最大限度减少了密封件磨损。另外，所有运动部件均通过金属焊接波纹管与真空侧完全隔离，确保长期运行的密封可靠性。

日扬L-MOTION矩形传输阀在振动测试中表现突出。测试采用三轴加速度传感器采集阀体X/Y/Z三个方向的振动加速度数据，开闭时间固定在2s，在额定气压下进行连续启闭循环测试。结果显示，阀门启闭过程中的振动加速度峰值控制在较低水平，且振动波形平缓、无明显冲击尖峰。振动值范围在0.02~0.08G之间，远低于0.15G的标准。在装机于工艺腔体的环境下，阀门振动幅度将会更小。

此外该阀门拥有运动调速功能，允许用户根据工艺需求调整开闭速度，自定义低速可进一步降低振动水平，一方面可以减少振动对精密工艺环境的干扰，另一方面振动本身也是颗粒释放的驱动因素——低振动从源头降低了Particle产生和扩散的风险。