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英福康氦气检漏黄金组合：为太阳能智造筑牢真空防线
在光伏产业向高效化、智能化转型的关键期，INFICON 作为全球真空测量与薄膜控制领域的技术者，正以多元化产品矩阵重塑太阳能制造的底层逻辑。从钙钛矿电池量产突破到真空环境精密控制，从薄膜沉积技术到全流程协同优化，我们将通过系列文章，逐层拆解 INFICON 不同产品与技术在太阳能制造中的深度应用。
系列第三篇 本文是继 INFICON 薄膜沉积控制技术，真空测量方案后的第三篇文章，揭秘氦气泄漏检测实践在太阳能领域的深度应用。 太阳能电池技术飞速发展，晶体硅电池效率持续突破，钙钛矿电池加速崛起。CVD/ALD/PVD等关键设备极大优化了电池性能，但设备泄漏问题成为重大挑战。以PECVD设备为例，泄漏会导致反应腔内气体成分和压力失控。在HJT（异质结）电池制造中，这将造成非晶硅钝化层生长不均，使电池的开路电压和填充因子下降，光电转换多可降低不少。 面对如此严峻的泄漏挑战，INFICON推出由UL系列检漏仪(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能喷枪和I-BOOST加速系统组成的氦气检漏方案，为设备真空系统提供保障。 INFICON的UL系列（UL1000/3000/6000）检漏仪堪称检漏界的 “精密大师"，检测精度可达 10⁻¹²mbar・l/s，能够精准捕捉到极其细微的泄漏。无论是高真空环境，还是中低真空区域，它都能从容应对，为不同工艺环节的设备提供可靠的检测数据。
