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INFICON真空测量
INFICON VGC401,VGC402,VGC403真空计控制器

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产品详情

INFICON VGC401,VGC402,VGC403真空计控制器

与全部INFICON现有的真空计兼容,VGC400系列控制器可监测从10-10至1500毫巴(10-10至1125托)整个压强范围和设点状态。

优势:

1自动识别连接的INFICON真空计。

2用户可选的测量单位(毫巴,托,帕,微米汞柱)。

3高分辨率-16位A/D变换器。

4多至6个可调节的设点与可调节的滞后,可分配给任何通道。

5承诺和标准:CE,ETL,RoHS。

6可编程的0至10伏图形记录仪,对每台真空计或复合真空计均有对数/线性输出(仅VGC102/403)。

7提供固件的在线更新,可通过RS232接口容易下载。

8通用的小型桌上式模式结构可容易地安装在面板或19’’机架上。

9宽范围电源90至250伏50至60Hz

用途:

1氧化,扩散和LPCVD过程。

2其它要求无金属的真空测量。